有機廢氣凈化的熱氧化法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是：通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。在廢氣中含CHO化合物的情況下，即轉(zhuǎn)化為CO2和H2O。

1.     按照反應(yīng)溫度的不同分類

熱力氧化：把有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的揮發(fā)性有機物在燃燒室中氧化分解成CO2和H2O，凈化效率高達99%。常見的有TO、RTO。

催化氧化：采用催化劑可以降低有機廢氣氧化所需的活化能，并提高反應(yīng)速率，從而可在較低的溫度下（~300℃）進行氧化燃燒，使有機物轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。常見的有CO、RCO

2.     按照熱回收效率的不同分類

蓄熱式氧化：是在熱氧化裝置中加入蓄熱式熱交換器（一般指蓄熱陶瓷），預(yù)熱 VOC廢氣，再進行氧化反應(yīng)，蓄熱式熱交換器的熱回收率已能達到95%以上。常見的有RTO、RCO。

預(yù)熱式氧化：是在熱氧化裝置中加入預(yù)熱式熱交換器（一般指金屬換熱器），預(yù)熱 VOC廢氣，再進行氧化反應(yīng)，熱交換器的熱回收率一般在50~60%。常見的有TO、CO。

3.     RTO處理技術(shù)

蓄熱氧化技術(shù)RTO(RegenerativeThermal Oxidizer，簡稱RTO)把有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的揮發(fā)性有機物在燃燒室中氧化分解成CO2和H2O ，氧化產(chǎn)生的高溫氣體流經(jīng)特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此蓄熱用于預(yù)熱后續(xù)進入的有機廢氣，從而節(jié)省廢氣升溫的燃料消耗。凈化效率高達99%，熱回收效率高達95%。

4.     CO處理技術(shù)

催化燃燒技術(shù)CO（Catalytic? Oxidizer ?，簡稱CO）可以在較低溫度（300~500℃）下實現(xiàn)對揮發(fā)性有機物在催化劑上進行氧化分解反應(yīng)，生成CO2和H2O，是一種節(jié)能高效的廢氣處理技術(shù)之一。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為 CO2 和 H2O，同時放出大量熱。換熱效率一般為50~60%，凈化效率高達98%，取決于催化劑。

5.     RCO處理技術(shù)

蓄熱催化氧化技術(shù)RCO（Regenerative  Catalytic? Oxidizer ?，簡稱RCO）是RTO技術(shù)與CO技術(shù)的結(jié)合技術(shù)，把有機廢氣加熱到300℃，使廢氣中的揮發(fā)性有機物在催化劑上中氧化分解成CO2和H2O ，氧化產(chǎn)生的高溫氣體流經(jīng)特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此蓄熱用于預(yù)熱后續(xù)進入的有機廢氣，從而節(jié)省廢氣升溫的燃料消耗。凈化效率高達98%，熱回收效率高達95%。